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精捷真空设备

INTENSIVE VACUUM EQUIPMENT

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罗茨真空泵机组
罗茨真空泵机组
详情说明 / Details

供应爱德华EH1200罗茨泵销售:
精捷真空EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是很受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01  10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光

功能和

 

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

310 m3h-1 / 185 ft3min-1

505 m3h-1 / 300 ft3min-1

1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

240 m3h-1 / 141 ft3min-1

350 m3h-1 / 206 ft3min-1

840 m3h-1 / 495 ft3min-1

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

GV80E2M80

GV160GV250
E2M80E2M175

GV250GV400
E2M175E2M275

GV400E2M275

电机功率

 

 

 

 

 

碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

3 hp

3 hp

4 hp

15 hp

15 hp

环境温度范围

 

 

 

 

 

工作

至 40°C/40 至 104°F

至 40°C/40 至 104°F

至 40°C/40 至 104°F

至 40°C/40 至 104°F

至 40°C/40 至 104°F

存储

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

最大工作湿度

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量

 

 

 

 

 

齿轮箱

 

 

1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

轴封储油器

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

61 kg/134 lb

74 kg/163 lb

74 kg/163 lb

308 kg/6

 

 

优势
适用于在 0.01  50 mbar/0.0075  37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。


它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

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